多重循环风空调箱通过送风管道,通过ULPA过滤器和HEPA过滤器,将空气送入洁净室,在洁净度等级为10级和1级的洁净室的天花板上,这些过滤器通常复盖100%。垂直单向气流向下通过清洁室,通过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间,通过垂直回风夹道向上进入天花板回风静压箱。然后,空气再次进入循环风调箱,上述空气循环再次重复。如果使用天花板风扇过滤器,风扇过滤器上的天花板空间可以安装水或直接更换冷却[DX-cooled]风扇线圈实现表面冷却。